Q. 플라즈마 임피던스 매칭
안녕하세요
플라즈마 설비를 다루는 직무가 있다고 들었습니다
RF Impedence matching할때 forward를 100 주는데 ref가 40밖에 뜨지않습니다 이럴경우 문제가 무엇인지 궁금합니다..
로드랑 튠을 건드리면 될거같은데 잘 안되네요
조언 부탁드립니다
안녕하세요
플라즈마 설비를 다루는 직무가 있다고 들었습니다
RF Impedence matching할때 forward를 100 주는데 ref가 40밖에 뜨지않습니다 이럴경우 문제가 무엇인지 궁금합니다..
로드랑 튠을 건드리면 될거같은데 잘 안되네요
조언 부탁드립니다
로드랑 튠이 매칭회로로 있는데, 이건 매처를 뜯어서 하나씩 조절해볼수밖에없습니다.. 노가다로.. 그니까 플라즈마를 시간을 길게 20분정도 틀어놓고 로드랑 튠을 하나씩 축을 잡고 바꿔보세요, 스미스차트에 ref가 0이 되는지 수시로 보시면서요..!
2023.05.28