기타 · 한화 / 모든 직무
Q. 플라즈마 임피던스 매칭
안녕하세요
플라즈마 설비를 다루는 직무가 있다고 들었습니다
RF Impedence matching할때 forward를 100 주는데 ref가 40밖에 뜨지않습니다 이럴경우 문제가 무엇인지 궁금합니다..
로드랑 튠을 건드리면 될거같은데 잘 안되네요
조언 부탁드립니다
답변
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로드랑 튠이 매칭회로로 있는데, 이건 매처를 뜯어서 하나씩 조절해볼수밖에없습니다.. 노가다로.. 그니까 플라즈마를 시간을 길게 20분정도 틀어놓고 로드랑 튠을 하나씩 축을 잡고 바꿔보세요, 스미스차트에 ref가 0이 되는지 수시로 보시면서요..!
2023.05.28