공정적으로 보면 온도, 압력, 가스유량 등의 파라미터일 것이고,
생산관리 쪽으로 보면 기판생산시 거쳐야 할 몇 가지 공정단계가 있을텐데, 어떤 공정(단계)에서 병목현상이 일어나는지 파악하고 왜 그런 현상이 발생하는지 알아내서 해결하기 위해 여러 모델링을 세우고 문제를 해결한다고 보시면 됩니다.

압력, 가스 유량 등에 대해서 파라미터 등을 체킹하고 생산관리 쪽으로 보시면 좋아보입니다. 공정에 대해 아는 것도 중요하고
모델링을 세우고 컨펌 하고 해결하는 것을 바랍니다.

기판도 반도체처럼 여러 다양한 단위공정들이 존재합니다.
대표적인 중요변수라면 열, 압력, 약품, 스케일 등이 존재합니다.