회사/산업 · SK하이닉스 / 생산관리

Q. 반도체 8대공정 중 가장 긴 시간이 소요되는 공정은 어떤 공정인가요?

Wafer가 공정에 투입되고 나면 짧게는 80일 길게는 120일이 걸려야 제품이 나오는 것으로 알고 있습니다.


"그렇다면 8대 공정 중에서 공정 시간이 가장 긴 공정은 어떤 공정인가요?"



가능하시다면 시간이 얼마나 소요되는지도 가르쳐주시면 감사하겠습니다.
항상 답변 해주시는 멘토님들에게 감사드립니다.

답변 4
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범범짠
코과장 ∙ 채택률 90% ∙
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일치

안녕하세요! 말씀하신 것 처럼 DRAM 완성까지 3~4개월 정도 걸립니다. (여기에는 장비 투입 전 대기 시간도 포함됩니다.)

가장 긴 공정은 LPCVD 공정인데 대략적으로 5시간(?) 정도 걸릴거예요. 그래서 공정 한번에 여러장의 Wafer를 넣어서 진행합니다.

웨이퍼 1장당 공정 시간이 가장 긴 공정이라고 한다면 ALD공정이 아닐까 생각합니다.

추가적인 질문이 있다면 연락주세요!^^


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lililiijl
코부장 ∙ 채택률 72% ∙
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일치

앞분이 잘 설명해 주신 것 같아 추가질문에 대한 답변 드리고자 합니다.
NAND도 전공정은 DRAM과 매우 흡사하며, 마찬가지로 같은 공정에서 시간이 오래 걸립니다.


엔지니어멘토
코전무 ∙ 채택률 83% ∙
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일치

NAND도 3~4개월정도 공정기간이 걸리는게 일반적인 평균치로 진행이되고있습니다

Wafer당으로하면 윗분들이 말해주신 ThinFilm 공정이 길수있으나

동일장비에서 한번의 Process로 다수의 Wafer가 진행된다는점에서 전체로보면 상대적으로 공정 Process를 넘기는 시간이 길지는 않고

한공정을 Wafer를 모아둔 단위인 LOT으로 시간을 계산하면 일부 ETCH 공정이 가장 긴 시간이 소요됩니다.


토끼너구리
코과장 ∙ 채택률 64% ∙
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일치

LPCVD에 대해서 앞의 분이 잘 설명해주셨네요


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