안녕하세요 멘티님,

목적함수라는 용어는 모르겠으나, 장비는 설계해야될 목표값이 다분합니다. 그 안에서 수율과 품질을 맞출 수 있을것이고, 엔지니어는 여러 데이터를 최적화하여 높은수율과 품질을 만들어냅니다,.

두가지 이상을 넘어서 고려해야할요소가 좀더 많은편입니다.

수율 품질 양산성을 바탕으로 결국은 종합적으로 고려했을때 비용대비 이익창출이 얼마나 나오느냐라는 기준으로 귀결되는데요.

이런 큰 목적성을 가진 것 뿐만아니라 단순하게는 장비 파라미터내에서도 서로 상충되는것들을 종합하여

양산 SPEC을 만족시킬수있도록 설계하는것이 진행되고 있으며, 이를 자동화 하는 시스템 시뮬레이션도 구축되고있습니다.

안녕하세요. 양산라인에서 어떤 목적으로 최적화를 진행하시는지가 궁금하신거 같네요! 제가 아는 부분 답변드리겠습니다.

최종목표는 아시다싶이 수율과 품질 향상입니다. 수율과 품질이 상충될 수는 있으나 이부분은 수율&품질팀에서 테스트 결과를 보고 관리를 하고 있습니다.

양산기술에서 장비 최적화는 수율개선을 위해 소자팀과 협업하여 진행하게됩니다.

예시를 들어본다면 DRAM유전막 두께가 얇아지게 된다면 CAP용량은 증가하나 Leakage가 발생하게됩니다. 반대로 두꺼워지먄 Leakage가 줄어들지만 CAP용량이 감소하게 됩니다. 이렇게 공정 para에 따라 특성이 변화하기때문에 불량률이 제일 낮은 적절한 두께를 찾아가게 됩니다.

추가적으로 질문이 더 있으시다면 연락주세요 :)