Q. ACI CD 질문입니다.
1. Etch 후 ACI CD 측정시 isotropic 하면 PR CD가 더 작아지나요? 커지나요?
2. Anisotropic 할때보다 Isotropic 할때 ACI CD가 더 작나요?
2. 현업에서 Isotropic, anisotropic profile을 볼 수 있는 측정장비가 무엇인가요?
1. Etch 후 ACI CD 측정시 isotropic 하면 PR CD가 더 작아지나요? 커지나요?
2. Anisotropic 할때보다 Isotropic 할때 ACI CD가 더 작나요?
2. 현업에서 Isotropic, anisotropic profile을 볼 수 있는 측정장비가 무엇인가요?