기타 · 삼성전자 / 공정설계

Q. Bar CD란

CD에 대해서 헷갈려서 질문 드립니다.

line CD, space CD, Bar CD, 패턴 CD가 있던데..

PR하부의 식각되지 않은 부분의 너비= lineCD
식각된 부분의 너비= space CD, Bar CD, 패턴 CD

이라고 보면 되나요??

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안녕하세요. 반도체공정설계 직무 희망하는 취준생입니다. 공정실습을 수강하고 측정한 데이터를 분석하고 있습니다. 대부분의 ACI CD가 ADI CD 데이터보다 작은 것을 확인했는데, 해당 부분이 왜 그렇게 측정되는 건지 원인을 알 수 있을까요? 또한 ACI CD가 ADI CD보다 작은 것을 이용하여 이후 증착 시 더 균일한 증착이 가능하다고 볼 수도 있을까요?