생산성 · 삼성전자 / 공정설계

Q. etching에 대해서, siloxane이 내성이 좋은 이유

etching을 할때, 실록산이 etching에 대한 내성이 좋은 이유가 무엇인지 알려주시면 감사하겠습니다ㅜㅜ 답변이 아니더라도 관련 논문이라도 알려주시면 감사하겠습니다!

답변이 안보이시나요? 직접 질문해보세요.
글자수: 0 / 500
인기 사례
Q. 반도체연구소에서 하는 차세대 메모리 연구에 대해 궁금합니다.
안녕하세요 이번에 반도체연구소 공정설계를 지원했는데, MRAM같은 경우 파운드리에서 양산개발을 하고 있다고 들었습니다 그런데 MRAM의 성능을 더 끌어올리기 위해 SOT-MRAM 이후 모델이나 ReRAM, PRAM 등의 다른 차세대 메모리는 반도체연구소에서 연구하고 있는건가요? 깊은 내용은 대외비일테니 간략하게 뭘 하고있다 정도는 알고싶어서 질문글 작성했습니다 또 요즘 AI때문에 HBM이 열풍인데, HBM같은 경우는 메모리랑 AVP 말고 반연에서도 연구하는지 궁금합니다!

Q. 파운드리 공정설계 관련 질문입니다.
안녕하십니까 삼성전자 파운드리 공정설계를 1지망으로 희망하는 대학생입니다. 현재 설계과목을 2가지 중에 고민하고 있는데 파공설로써 둘 다 매력적인거같아 현직자님들이라면 어떤것이 더 나을까 여쭤보고자 질문드리게 됬습니다. 설계 1은 CMOS inverter, Nand Flash 최적설계로 Synopsys Sentaurus 2-D(+mixed module)와 SPICE를 사용합니다. 설계 2는 candence 버툐쇼?? 툴을 사용해 Logic 회로를 Layout합니다. 설계1의 경우 공정설계에 경험에 fit한 경험이며 SPICE를 사용하기에 소자-회로 결합경험을 키울 수 있을거 같습니다. 설계2의 경우 추후 타회사 회설, 공기에도 지원에도 사용할거 같고 layout도 공정설계에 도움되는 것으로 알고 있습니다. 현재 Silvaco TCAD 사용은 경험 있습니다. (하지만 이건 삼성에서 사용하지 않는다고 알고 있습니다..) 조언한마디씩 해주시면 감사하겠습니다!!

Q. 반도체 이온주입공정에서 플라즈마 사용
반도체 이온주입공정에서 플라즈마를 사용함으로써 얻는 장점이 어떤 것이 있을까요..?!