Q. exposure energy와 CD 관계
negative PR을 사용한 경우 exposure energy가 작아지면 빛 투과한 부분이 적어 패턴크기가 커진다.
negative PR은 top CD를 측정해한다. ->E가 커질수록 CD가 작아진다.
위의 내용이 맞는지 궁금합니다. 그리고 neg PR이면 왜 top CD를 측정하는지도 궁금합니다.
negative PR을 사용한 경우 exposure energy가 작아지면 빛 투과한 부분이 적어 패턴크기가 커진다.
negative PR은 top CD를 측정해한다. ->E가 커질수록 CD가 작아진다.
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