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Q. Pecvd에서 acl을 증착할 때 Ar, He, N2, O2 각 가스들의 역할

1. Pecvd에서 c3h6을 프리커서로 acl을 증착할 때 Ar, He, N2, O2 각 가스들의 공통적인 역할과 차이점이 궁금합니다. Ar, He, N2, O2 모두 캐리어가스 역할을 하고 플라즈마를 만들기 위한 기압을 맞춰주기 위함인가요?
2. Pecvd에서 c3h6을 프리커서로 acl을 증착할 때 o2를 사용하는 이유가 뭔가요? 다른 캐리어 가스들처럼 O2도 넣으면 증착 반응에 참여하지 않나요 아니면 참여하나요? 참여하면 왜 굳이 depo rate를 감소시키는 o2를 넣는 건지 궁금합니다. Ar이나 n2는 증착 속도를 증가시키는데