Q. 노광 장비 중 scanner와 stepper 차이점
스캐너와 스테퍼의 원리는 이해했는데
그에 따른 차이점을 자세히 알려주세요
제가 알기론 그 중에 스캐너는 M:1 축소 노광이 가능하고 스테퍼는 안된다고 알고 있는데
ASML 노광장비의 스펙을보면 스테퍼에도 reduction ratio가 있던데 이건 뭔가요?
스캐너와 스테퍼의 원리는 이해했는데
그에 따른 차이점을 자세히 알려주세요
제가 알기론 그 중에 스캐너는 M:1 축소 노광이 가능하고 스테퍼는 안된다고 알고 있는데
ASML 노광장비의 스펙을보면 스테퍼에도 reduction ratio가 있던데 이건 뭔가요?