실무 · 삼성전자 / 공정개발

Q. 마진 관련 실무적으로 궁금한 부분입니다

안녕하세요 공정엔지니어 신입사원입니다.

사실 실무를 많이 해보지 않아서, 마진 개념이 직관적으로 와닿지가 않습니다.
예를 들면, 최근에 한 막질의 오버에칭 문제가 있었는데 Etch 마진문제다? 이런식으로 표현하더라구요

그런데 그 마진 문제는 Etch rate가 높기 때문이며, 이를 낮추는 방향으로 테스트를 했습니다.
Etch rate가 높으면 공정 안정성이 떨어질 수 있다는 것은 이해했습니다. 하지만, 그것이 마진과 어떤 관계가 있는건지 정확히 모르겠습니다.

예를 들어서, 마진에 포커싱을 해서 이슈를 해결하려면

두께 불량이 생겼는데 -> 마진 자체의 문제다? -> 마진 밖에서도 소자 특성이 크게 열화되지 않음을 평가? 이런 방향으로 진행되는 건가요? 선배님들 많은 도움주시면 감사합니다. 사실 이해가 잘 안돼서, 예시도 같이 들어주시면 정말 감사합니다.

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2024.09.04

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