대학생 고민 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 공정기술 연구실 고민하고 있습니다

응용플라즈마 연구실 연구 프로젝트들입니다

ULVAC PVD 장비 시뮬레이션 해석 자문
ULVAC RF 및 플라즈마 요소기술 개발 및 지원
Process Chamber 실시간 0.1 mTorr 이상 Leak 감지 기술 개발
Metal 오염 최소화 웨이퍼 본딩 기술 개발
반도체 공정가스 내 0.1ppm 이하 불순물 모니터링이 가능한 고밀도 플라즈마 분광분석 시스템 개발 실증
실시간 플라즈마 감시 시스템 개발
웨이퍼 본딩
V-I 센서 기반 플라즈마 변수 고정밀 모니터링 기술 개발
플라즈마 실시간 공정 모니터링 및 공정모사 기술 개발
차세대 반도체 극고종횡비 식각 공정 한계 극복 연구
플라즈마 기반 항공기 능동형 피탐지 감소 기술
PFC 가스 대체용 Fluorocarbon 계열 Precursor를 이용한 식각 공정 개발
다공정 고신뢰성 Chemistry 관련 DB 개발
플라즈마 아킹 발생 메커니즘 연구를 통한 아킹 예보 시스템 개발
공정기술 직무에 적합할까요?