Q. 삼성 ds 반도체 설비 전압강하 관련 질문
전압강하의 원인 : 반도체 공장에 공급하는 전력계통에서의 사고, 한전 구내 및 인근 수용가의 사고, 선로의 직격뢰 등
영향 : 생산설비 정지 시 공정상 에러율 증가, 웨이퍼 등의 부품 손상
보조설비 정지 시 클린룸의 온습도 환경이 깨져 공정 진행 불가, 조건 충족 시까지 수 시간~수 일 소요되기도 함
대책 : 순간 전압강하, 일시정전, 영구정전에 대비하기 위해 무정전 전원 공급장치(UPS), 전압강하 보상장치 및 비상 발전기 설치 및 운영
전압강하 사례 : 2016년 중국 변전소 폭발 사고로 3d 낸드플래시를 생산하는 현지 반도체 공장 내 일부 생산 설비에 영향을 미침
순간전압강하란 : 전압, 전류 실효치의 0.1~0.9pu의 전압감소이며 전압 강하율과 지속시간 중요
이렇게 조사하였는데 맞을까요?