1회차
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01
etch 공정 엔지니어의 업무
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02
etch 공정 엔지니어에게 필요한 역량은 무엇을까?
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03
강의 contents 소개
2회차
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01
반도체 공정 이론 소개
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02
dry etch 공정 이론과 dry etch 공정의 중요성
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03
[실습과제 1] 반도체 pattern 불량 원인 파악
3회차
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01
1) dry etch 장비 소개
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02
2) 반도체 etch 장비 부품 소재 파악
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과제
[실습과제 2] 반도체 장비 개선으로 수율 개선 + [프로젝트과제 1]
4회차
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01
1) etch parameter 에 따른 etch 특성
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02
2) 실험계획법 (DOE) 이 무엇일까?
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03
[실습과제 3] 실험 계획법 이용하여 etch 특성 변경 계획
5회차
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01
1) CD에 대한 이해
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02
[실습과제 4-1] etch rate 증가로 recipe 만들기
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과제
[실습과제 4-2] etch rate 감소로 recipe 만들기 + [프로젝트과제 2]
6회차
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01
1) 엔지니어에게 왜 수율이 중요할까?
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02
[실습과제 5] etch recipe 개선으로 수율 향상하기
7회차
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01
1) 실무 VOD 강의 내용 요약 정리
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02
2) 반도체 etch 공정 엔지니어 역량, 어떻게 취업에 활용하나요??