01. 공정설계 엔지니어가 첫번째로 만나게 되는 MTS

공정설계 엔지니어는 설계된 반도체 디바이스가 설계에 맞는 올바른 성능을 낼 수 있도록 생산 공정을 최적화 하는 역할을 합니다.

이 때 공정 엔지니어가 가장 먼저 만나게 되는 첫번째 업무는 Module Target Spec, 즉 MTS입니다. 실습을 통해 목 표하는 특성을 타겟팅하며 정성 및 정량적으로 MTS를 이해해봅니다. 또한, MTS별 리스크 관리의 중요성을 파악하고 공정을 고려한 MTS 설계에 대해 살펴봅니다.

02. 공정설계의 꽃, Process Integration

공정설계에서 가장 중요한 업무는 ‘Process Integration’입니다. 하지만, ‘Process Integration’에 대한 내용은 학교나 학원에서도 거의 알려주지 않습니다. Process Integration은 목표하는 특성을 확보하기 위해 어떻게 공정을 구성하고, 각 레시피는 어떻게 가져가야 하는지 실습을 통해 경험을 쌓아봅니다.

03. 현업에서 많이 사용되는 공정 마진의 개념 이해하기

실무를 접하지 않은 분들에게는 생소하게 느껴질 수 있습니다. 하지만 공정 마진 개념은 공정 설계 현업에서는 매우 중요하게 다뤄지고 있는데요.

이번 과정에서 접하게 되는 FEM(Focus Exposure Matrix)를 통해 공정 마진의 개념을 학습하고, 추후 공정 마진 부족으로 인한 수율 개선 업무에 대한 기초를 다질 수 있습니다.

04. 가상 데이터를 활용한 수율 drop 원인을 찾고 개선하기

많은 분들이 공정 과정에서 ‘수율 개선' 업무에 관심을 가지고 계신데요. 수율 개선 업무는 양산 단계에서 이루어지기 때문에 실제로 경험을 하기는 쉽지 않습니다.

이번 과정에서는 Wafer 불량 형태 가상 데이터를 활용한 drop 원인을 찾아보는 단계부터 계측 Step Data와 특성 Data의 연관 관계를 찾아 불량을 찾아보는 실습까지 실무에서 발생하는 다양한 실습을 진행할 수 있도록 준비했습니다.