과제 소개

본 과제는 공정 설계팀 직무를 중심으로 만들어졌으나 반도체 공정 분야 취업을 준비하시는 분들께서 공정 설계와 공정 기술 중에 어디 지원할지 많이 고민하시는 것을 고려하여 라이브 세션에서 같은 data 와 issue 에 대한 공정 설계와 공정 기술팀의 입장 차이를 설명해드립니다. 이를 통해 반도체 공정 분야 직무의 전체적인 흐름에 대해서도 이해하실 수 있습니다.

1주차에 반도체 설계 layout 을 공정으로 구현하기 위한 반도체 공정 흐름도 (process flow) 를 작성해보게 됩니다. 이 process flow 를 만들면서 photo, etch, CVD, clean, diffusion, metal, CMP, imp 공정이 어떤 식으로 융합되어 반도체 소자가 만들어지는지 직접 설계해보실 수 있습니다. 이에 대한 멘토의 피드백으로 공정의 오적용, 기술 용어의 잘못된 사용, 현업에서 하는 것과 다른 방향의 공정 설계가 진행되는 경우에 대한 피드백을 해드립니다.

2주차에는 반도체 공정이 제대로 진행되고 있는지 확인하기 위한 실시간 data 인 계측 data 를 해석하는 과제를 진행하게 됩니다. 멘티분들께는 현업에서 쓰는 것과 같은 계측 raw data 가 주어지고 이 계측 raw data 를 excel graph 로 그려 공정 이상점을 확인하는 과제를 진행하게 됩니다. 2주차의 경우 공정 설계나 공정 기술 가릴 것 없이 공정 분야에 종사하는 모든 엔지니어가 하게 되는 필수 역량에 해당합니다. 이에 대한 멘토의 피드백으로 엔지니어적인 시각으로 data 를 어떻게 보고 판단하는지, 실제 이러한 계측 data 이상점이 공정과 어떻게 연결되는지를 피드백해드립니다.

3주차에는 반도체 소자 동작에 관련된 raw data 가 주어지는데 이를 소자팀에서 하는 것과 유사하지만 난이도가 수강생분들의 눈높이에 맞게 조정되고, 분량이 간소화된 DC summary report 를 만드는 과제를 수행하게 됩니다. 반도체 소자를 수강하지 않는 비전자과 계열 멘티분들께서는 3주차 과제로 계측 + defect 검사 data 가 합쳐진 raw data 가 주어진 상황에서 반도체 wafer 평가 결과를 해석하는 과제를 진행하게 됩니다. 이에 대한 멘토의 피드백으로 1, 2주차와 유사한 관점의 피드백을 해드립니다.

4주차에는 현업에서 발생하는 것과 유사하지만 마찬가지로 난이도가 조정된 반도체 불량 사례가 TEM, EDAX, SEM data 기반으로 제공됩니다. 이런 data 를 보고 멘티분들께서는 그간 공부한 배경 지식과 과제 지식을 바탕으로 나름의 불량 모델을 세워보고 이를 개선하기 위한 split table 을 작성해, 최종적으로는 “현업 공정 설계팀에서 이런 문제들이 생기고 이 때 이런이런 공정이 문제가 있기 때문에 이런 data 를 봐야하며 최종 개선을 하려면 00 같은 평가를 해야한다” 에 대한 이해를 하시게 될 것입니다.

이를 통해 학교에서 배운 8대 공정 지식이 현업에서 어떤 식으로 쓰이는지 감을 잡으실 수 있으며 실제 현업에서 하는 것처럼 raw data 를 해석하는 업무 과제를 수행해보실 수 있습니다. 이 과정에서 과제 진행을 위해 bulk transistor 공정 data, 계측 raw data, 소자 raw data, 불량 image, 업무 요청 메일과 같은 실제 회사 환경과 유사한 data 가 제공되기 때문에 현실적으로 도움이 되는 경험을 해보실 수 있습니다.

* 과제 수행을 위해서는 반도체 집적 공정, 반도체 재료, Device Physics or 반도체 소자 (초급) 지식이 필요합니다. 반도체 공부가 부족하여 과제를 제대로 수행하지 못하는 경우 멘토가 만든 sample 답안이 제공되기에 캠프 진행에는 무리가 없으나 피드백을 통해 도움을 받기 위해서는 가급적 반도체 초급을 배운 상태에서 캠프 참여하시길 추천 드립니다.

* 실제 현업에서 만드는 반도체 공정은 대학교에서 배우는 보통의 bulk transistor 를 쓰는 것이 아니라 FINFET, RCAT, Channel hole 기반 VNAND 같은 복잡한 구조를 사용하고 패터닝 공정도 매우 복잡합니다. 캠프를 신청하시는 멘티분들의 공부 수준, 전공, 관심사가 모두 다르다는 것을 고려해 (메모리 vs 파운드리, 설계 vs 기술, 공정 vs 소자 등..) 과제는 일반 bulk transistor 공정 기반으로 진행하되 현업에서 자주 겪게 되는 data 문제와 불량 상황을 포함하도록 구성했습니다.