멘티님도 할 수 있어요.
- 멘토 사진
- 멘토 연차 정보
- 멘토 닉네임
- Junuya
- 인증 멘토
3~5년차 경력자
인증 멘토
전) 반도체 대기업 설비엔지니어
- 전자공학과 학사
- 외국계 기업 근무
- 글로벌 반도체기업 제조기술 장비 엔지니어 근무
- 연수원 우수 신입사원 선정
- 신입사원 OJT 지도 경험 有
X월 01일 ) 박 대리님. Backend 공정에서 품질 Issue가 발생하였습니다. 그리고 우리 기술팀에서 진행된 공정이 품질 Issue의 원인으로 의심되고 있는 상황입니다. 박 대리님은 먼저 XX월 XX일 부 터 XX월 XX일까지 X분임조에서 진행된 설비의 FDC DATA를 취합해주세요. 그리고 공정 엔지니어 박 과장에게 X분임조 설비에서 진행된 공정 DATA를 취합해서 특이점이 있었는지 확인해 달라고 하고, 설비 FDC DATA와 비교해주세요.
X월 02일 ) 보내주신 자료 확인했습니다. 박 대리님 XXXX1호기에서 진행된 제품들이 품질 Issue가 생긴 것 같네요. 해당 설비의 부대설비의 FDC DATA를 확인해본 결과 Foreline쪽의 Leak이 의심됩니다. 또한, 수율팀에서 보내준 DATA에 따르면 해당 설비에서 진행된 제품들의 Particle이 SPEC을 벗어난것 같네요. 박 대리님은 Leak이 Pump쪽에서 발생했는지 설비 쪽에서 발생했는지 빠르게 파악하고, Pump사 엔지니어와 빠르게 협업하여 Leak Point를 찾아주세요.
X월 03일 ) XXXX1호기에서 진행된 Wafer 계측이 끝났는데, Wafer Loss가 예상되네요. Depo된 막질의 Uniform하지 않습니다. 공정 엔지니어 박 과장에서 해당 Wafer Care를 Clean 부서와 협업해서 진행될 수 있도록 해주세요. 그리고 Chamber Clean이 제대로 진행되지 않았는지, 최근 계측 Recipe 변경이 있었는지, Clean Recipe 변경이 있었는지, 박 대리님이 박 과장과 협업해서 확인해주세요. 해당 자료는 품질팀과 공유해주세요.
X월 04일 ) Pump쪽 Leak이 발생한 것이 확인됬습니다. XXXX1호기 장비사 엔지니어와 Pump쪽 엔지니어와 협업해서, 해당 문제를 해결하고, 개선 방안을 찾아주세요. 또한, Chamber 내부에도 Particle이 육안으로 확인됬습니다. Chamber쪽으로 Particle이 유입된 것은 Valve쪽 구동문제거나 O-ring 열화로 보이는데, 해당 Valve와 O-ring의 Spec을 확인하고 PM이 Sop대로 진행됬는지 확인해주세요. 그리고 해당 Valve와 O-ring의 수급 일정도 확인 부탁드려요.
진행 상황에 대해서는 Daily Report로 보고 부탁드립니다. 그리고 다른 설비에서도 해당 문제가 발생하지 않도록, 개선된 사항을 다른 설비에 횡전개하여, 추가 피해 발생을 원천차단할 수 있도록 부탁드립니다.
