직무 · 도쿄일렉트론코리아 / 모든 직무

Q. Etch process engineer가 하는 일이 궁금합니다.

PPhatman

1. etch process engineer는 etch process를 진행한 후 평가 결과를 공유 및 계획 수립하는 것이 주된 일이라고 알고 있습니다. 이를 바탕으로 process window를 설정하기도 하는데, 이 process window는 대표적으로 어떤 게 있나요? 2. 최근 TEL은 극저온 식각 장비를 도입한 것으로 알고 있습니다. 여기서 HF가스를 주로 이용한다고 들었는데, 이 HF가스를 식각 진행 중 주로 영하 70도 상에서 유지하나요? 3. 저는 학부연구생에서 극저온 소자의 신뢰성을 파악한 경험이 있습니다. (불완전 이온화 등 극저온 환경에서의 device physics에 의한 mosfet의 i-v characteristic 변화) 하지만 주로 etch process engineer가 평가 단계에서 하는 일은 주로 SEM 등 측정 장비를 통한 etch profile을 측정하는 것이라고 들었습니다. 최적의 레시피를 고객사에게 전달하는데, 위 활동이 도움이 되나요?


2024.11.20

답변 2

  • c
    cw3268도쿄일렉트론코리아
    코이사 ∙ 채택률 94%
    회사
    일치

    채택된 답변

    1. process window는 개념을 잘못 알고 계신것 같은데, 사용 가능한 영역을 의미하며 장비 고유 특성입니다. 3. 소자 경험은 아무래도 직접적인 관련은 없습니다.

    2024.11.20


  • r
    reinheart우양포토닉스
    코부장 ∙ 채택률 52%

    2 영하 그정도에서 하는데 스펙마다 조금씩, 비율마다 조금씩 다릅니다 3 그래서 잘 아시는군요, 에치 프로파일을 end user에게 전달까지 합니다 ^^ 위 활동이 크게 도움이 될겁니다 1 프로세스 후 트러블 슈팅 . 하드웨어 소프트웨어 , 공정 부분에 관하여 조사 실시 후에 문제점 파악 후 결과 보고를 진행합니다. 대표적으로는,, bur ? 양자 터널링 혹은 cd 부분에서 문제점들 체크가 되겠네요.

    2024.11.20


궁금증이 남았나요?
빠르게 질문하세요.