회사/산업 · 도쿄일렉트론코리아 / 필드엔지니어
Q. 도쿄일렉트론 하이브리드 식각기
안녕하세요, 혹시 도쿄일렉트론의 하이브리드 식각기와 극저온 식각기가 같은 장비를 말하는건가요? 하이브리드 식각기는 RF + DC 펄스를 사용하는 매커니즘이고 극저온 식각기는 영하 온도에서 식각을 진행하는 매커니즘이라고 뉴스기사에는 별개로 나와있는데 둘다 삼성전자의 V10에 도입될 예정이라는 것을 보면 두개가 같은 장비를 말하는 건지 궁금증이 들어 여쭤보았습니다!
2024.01.13
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