대학생활 · 모든 회사 / 공정기술
안녕하세요 에칭공정을 공부하다 궁금증이 생겨 질문드립니다. 요즘 high aspect ratio를 구현하는 것이 중요하다고 들었는데 high aspect ratio를 구현하는 방법이 궁금합니다. 제가 생각하는 방법은 강한 Bias를 적용하여 Etchant gas를 깊은 위치까지 보내고, 높은 온도와 반응성이 좋은 F가스에 O2가스를 첨가하는 방법이라고 생각하는데 맞는지 궁금합니다. 현직자분들의 의견 듣고 싶습니다. 귀중한 시간 내주셔서 감사합니다.
2024.09.05
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답변 1
같은 대학생이지만 답글을 적습니다. Aspect Ratio는 사실 공정을 진행할때 좋지 않은 파라미터라고 생각합니다. 종횡비가 크면 그만큼 증착이나 식각을 진행할때 공정상 어려움이 크니까요. 그래서 사실 HAR를 구현하는게 중요하다기 보단, 미세화로 인해서 어쩔수 없이 HAR 구조를 채택하게 되었다고 이해하는게 더 올바르다고 생각합니다. 여튼 본론으로 돌아가 현재는 DRAM의 커패시터라던지 NAND Flash 구조에서 HAR구조를 많이 채택하는데, 이때 사용 하는 공정이 DeepRIE 공정으로 알고 있습니다. 구글에 DRIE 혹은 Bosch공법이라고 검색 하시면 정보가 많이 나올겁니다! 말씀해주신 방법은 위에 언급한 공법에서 쓰이는 방법이니 맞는거 같네요.
안녕하세요 인서울 4년제 재학중인 학생입니다 아직 직무에 관해서 잘 몰라서 그런데 반도체나 배터리 분야에서 공정기술 지원하려면 4년제 말고 전문대나 특성화고 위주로 뽑나요?
안녕하세요 반도체 공정기술 직무 타겟으로 취업 준비중입니다 반도체 패키지 관련 교육을 이수하면 관련 취업 준비시 도움이 될까요? 요즘 HBM등 반?패키징 느낌의 기술도 많이 나오는 것 같아서 혹시나 해서 여쭤봅니다
반도체 공정 엔지니어를 희망하고있는 서울 중하위권 신소재공학과 재학중인 3학년 학부생입니다. 그동안 쌓아논 스펙도 하나도 없이 곧 4학년이되어 취준을 앞두고 있다보니 뭐라도 해야할것 같은데 겨울방학에 연구인턴이나 반도체 공정실습을 지원해 볼 기회가 생겨 해보고자합니다. 대학원에 갈 생각은 없고 졸업후 바로 취직 하고자 한다면 뭐가 더 메리트 있을까요? 사실 연구인턴이 좀 더 메리트 있어보이는건 사실이지만 기간이 한달이긴 합니다만 경쟁이 빡셀거같기도하고.. 공정실습은 나중에 다른 기관에서도 할수 있을거 같다는 생각도 들고... 고민이 되네요 정말 해놓은게 없는건 저도 알고있어 대기업에 대한 욕심은 없습니다 다만 지금부터라도 최선을 다해보고자합니다. 물론 둘다 합격을 한다는 가정하이긴 하지만... 선배님들의 의견이 궁금합니다
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