취업 · 모든 회사 / 공정기술

Q. photo etch 후 CD inspection시 측정 방법

미니미니뿅

공정 후 CD inspection할때 nega pr은 보통 Top cd가 bottom cd보다 넓다고 알고있는데 그럼 mask target cd를 top에 맞추나요 bottom에 맞추나요 ?


2024.09.26

답변 1

  • 니꿈은뭐니삼성전기
    코사장 ∙ 채택률 86%

    이 기준은 정하기 나름인데 일반적으로 top씨디와 bottom씨디 중 둘 중에 한 군데를 기준점으로 잡지는 않고 그 중간점으로 잡는 경우가 대부분입니다.

    2024.09.26


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