Q. 나이트라이드에서 N결합이 박막의 uniformity에 어떤 영향을 미치는지 궁금합니다.

답변 1

• c

  cw3268도쿄일렉트론코리아

  코이사 ∙ 채택률 94%

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  어떤 박막인지 작성 안해주셨는데, 박막마다 ER이 증감할 수 있습니다. 예를들어 PR의 경우는 N2를 첨가하면 보통은 증가합니다.

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  댓글 2

  f

  funiser

  작성자

  2024.09.08

  SiN 박막의입니다

  f

  funiser

  작성자

  2024.09.08

  혹시 SiN PECVD 증착에서 Ar가스의 유량을 증가시켜 표면수소결합을 탈착시켜 표면재결합률을 상승시킴으로 표면의 화학적 안정도를 높이고, er을 감소시킨다는 논리는 맞나요?