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Q. 노광공정 Hard Bake 질문드립니다.
면접 대비하며 노광공정 공부 중인데, Hard Bake 부분에서 의문이 생겼습니다. "PR의 유리질 천이 온도(TG)보다 높고 PAC의 분해 온도보다 낮은 온도에서 Hard Bake를 한다" 라고 나오는데, TG보다 온도가 높아지면 PR이 고무 형태로 되어 패턴이 손상되는 것 아닌가요? 왜 TG보다 높은 온도를 사용해야 하는지 궁금합니다.
2025.10.22
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