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Q. 드라이 엣치
드라이 엣치에 사용되는 플라즈마기기 이름이 드라이 엣쳐 인가요 그리고 여기서 Rf,o2,CF4수치를 입력하는데 이건 뭐고 sccm은 뭔가요 그리고 sccm을 했을때 웨이퍼 색은 왜변하나요
2024.09.14
답변 1
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
통상 드라이에쳐장비라하고 방식은 icp,ccp방식으로 나뉩니다. rf는 플라즈마세기, o2,cf4는 에칭에 필요한 가스매질입니다. sccm은 standard cc per minute로 분당 흘러들어가는 기체유량이라보시면 됩니다.
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