드라이 엣치에 사용되는 플라즈마기기 이름이 드라이 엣쳐 인가요 그리고 여기서 Rf,o2,CF4수치를 입력하는데 이건 뭐고 sccm은 뭔가요 그리고 sccm을 했을때 웨이퍼 색은 왜변하나요

통상 드라이에쳐장비라하고 방식은 icp,ccp방식으로 나뉩니다. rf는 플라즈마세기, o2,cf4는 에칭에 필요한 가스매질입니다. sccm은 standard cc per minute로 분당 흘러들어가는 기체유량이라보시면 됩니다.2026-07-27T09:18:48.804Z