Q. 반도체질문

답변 2

• 반

  반망한국나노기술원

  코대리 ∙ 채택률 67%

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  Pitch는 패턴끼리의 간격 또는 밀도를 의미합니다. Pitch가 작을수록 집적도가 높고, 미세한 공정이기 때문에 공정이 어렵습니다. 익스포저 타임은 적당한 값을 주는 것이 좋습니다. PR이 제거되지 않는 정도의 조건은 당연히 좋지 않고, 너무 과하게 주면 생산성도 떨어지고 의도한 패턴보다 커질 수 있습니다. 그렇기 때문에 PR이 제거되면서 원하는 패턴이 나오는 최적의 익스포저 타임을 구하는 것이 공정기술 업무입니다.

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• 다

  다시 돌아온 상코미코

  코사장 ∙ 채택률 99%

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  안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 패턴의 거리라고 생각하시면 됩니다. 익스포저 시간을 적절한 시간을 주셔야 합니다. 적어도 안되고 많아도 안됩니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

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