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Q. 반도체 공정에서 90nm 이상일 때의 노광 방식과 광원의 종류 궁금합니다.
시스템 반도체가 요즘 뜨고 있어서 검색해본 결과 8인치 웨이퍼는 90nm이하의 공정 선폭을 가질 수 없다는 것을 알았습니다. 그렇다면 8인치 웨이퍼가 사용하는 노광 방식(projection일 것 같긴 합니다.)과 광원의 종류(KrF아니면 ArF일 것 같습니다)는 어떤 것일지 궁금합니다.
2022.08.30
답변 1
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
채택된 답변100nm급은 주로 krF를 많이 활용합니다. (스캐너)
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