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Q. 반도체 기판에 따라서도 장비가 달라지나요?

yyhhhh1

기존 Si 기판에서 동일한 사이즈의 SiC나 GaN 기판으로 공정을 진행할 때 같은 장비를 써도 무관하나요?


2022.09.26

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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