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Q. 반도체 박막두께 - 알파스텝
1.증착 > 패턴을 형성한 후에 알파스텝을 사용하면 원하는 위치의 패턴형성된 곳의 박막두께를 알 수 있는 건가요? 2. 만약 알수있으면 여러군데 측정해보고 두께가 다르다면 박막의 uniformity가 일치하지 않다라고 판단할 수 있을까요?? 3. 패턴형성할때 wet etch를 길게해서 언더컷이 발생했다면 알파스텝으로 두께를 측정했을 때, 균일도가 다르게 나타날 수 있나요?
2024.01.09
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