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Q. 반도체 습식 공정

ddfghii

예전에 공정실습에 참여한 경험이 있습니다. 당시에 메모를 다 정확하게 해두지 않아 기억나지 않는 것들이 좀 있습니다. 보통 HF용액에 몇 분 정도 담그어 두나요?


2025.01.13

답변 5

  • c
    cw3268도쿄일렉트론코리아
    코이사 ∙ 채택률 94%

    패턴이나 웨이퍼 크기에 따라 다른데 4인치 기준 보통 1분입니다. 밑에 코미코나 우영포토닉스 답변자는 틀린 정보이니 주의하세요

    2025.01.14


  • r
    reinheart우양포토닉스
    코부장 ∙ 채택률 52%

    공정마다 다른데 짧으면 30초 어닐링 길면 5분도 합니다.

    2025.01.13


  • 다시 돌아온 상코미코
    코사장 ∙ 채택률 99%

    안녕하세요 멘티님 해당 질문에 대해 답변 드리겠습니다. 공정실습에서는 약 5분정도 담그는 걸로 알고 있습니다. 도움이 된 답변이라면 채택 부탁드려요! 취업에 성공하시길 바랍니다!

    2025.01.13


  • 졸린왈루(주)KEC
    코사장 ∙ 채택률 98%

    안녕하세요 멘티님 보통 HF에는 3분에서 5분가량 넣습니다. 이론에도 나와있으니 책 참고해보세요. 멘티님의 취업에 좋은 결과 있길 바랄게요~

    2025.01.13


  • 니꿈은뭐니삼성전기
    코사장 ∙ 채택률 86%

    보통 HF용액에는 60도~70도, 180sec정도가 표준입니다.

    2025.01.12


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