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Q. 반도체 식각 첨점 구조

크크ㅡ크크킄

Gate를 식각할 때 첨점 구조로 식각이 되면 전기장의 영향을 크게 받아 좋지 않다고 하는데 첨점 구조를 발생시키지 않기 위해 vertical 식각 프로파일이 중요한가요?

2024.11.18

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