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Q. 반도체 CD VS Line CD
예전에 공정실습을 진행했는데 내용이 기억이 잘 나지 않아 여쭤봅니다. positive pr로 포토->에치 까지 진행한 뒤 현미경으로 cd를 측정했는데 여기서 그냥 CD는 100마이크로미터 정도이고, Line CD가 15마이크로미터 정도이면, 여기서 그냥 CD는 노광 영향을 받아 깎여나간 패턴의 길이고 Line CD는 깎이지 않고 남은 부분의 선폭이라고 보면 될까요?
2025.01.20
답변 2
- rreinheart우양포토닉스코부장 ∙ 채택률 52%
제가 생각했을 적에 cd는 깎인 패턴길이고 라인 critical dimension이 남은 부분 선폭인것 같아요 pr negative 가 아니니까요
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
이거는 지칭하기 나름인데 CD라는 것의 의미는 어떤 특정 영역의 디멘전을 의미하는 겁니다. 따라서 반도체 cd이든 라인 cd이든 측정자가 해당 영역을 특정할 때 반도체 cd로 측정하면 그냥 그게 반도체 cd이고 라인 cd라고 특정하면 그게 라인 cd인 겁니다. CD는 상당히 포괄적인 의미라고 보시면 되겠습니다.
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