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Q. 반도체 CD-SEM 설비간의 기술 일치화?? 신뢰성???

가느다란마바사

안녕하세요. 반도체 공정 실습을 하는 과정에서 FAB에서 기존에 사용했던 CD-SEM이 에러가 발생해서 한동안 사용을 못하면서 다른 CD-SEM을 이용해서 공정을 이어서 진행시켰는데 이 과정에서, 두 CD-SEM이 다르기 때문에 이전에 측정했던 CD값이 조금씩 차이가 발생하고 결국 공정에서 문제가 발생했다는 상황입니다. 1. 이러한 상황에서 어떤 문제가 발생할 수 있나요? 2. 이러한 것을 설비간의 기술 일치화?? 어떤 말로 표현할 수 있나요?


2024.11.09

답변 2

  • r
    reinheart우양포토닉스
    코부장 ∙ 채택률 52%

    1 cd 에서 양자 터널링 발생가능합니다. 전력소모가 심해집니다. 2 설비간의 기술일치화? 는 말은 안쓰고 그냥 트러블 슈팅이라고 합니다.

    2024.11.09


  • 졸린왈루(주)KEC
    코사장 ∙ 채택률 98%

    안녕하세요 멘티님 계측기간의 유의차라고 표현하셔도 됩니다. 대부분 이를 최소화하기위해 계측기 레시피도 셋업을 하기에, 큰 문제가 발생하진 않을겁니다. 멘티님의 취업에 좋은 결과 있길 바랄게요~

    2024.11.09


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