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Q. 삼성 반도체공정 feol, mol, beol
반도체 공정공부중에 헷갈리는 게 있어서 질문드립니다!! 삼성전자 반도체공정에서 feol, mol, beol이렇게 나뉘나요?? 만약 나뉜다면 각각이 어떤공정까지인지 알려주실수 있나요?
2023.03.20
답변 2
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79%
채택된 답변네 FEOL, MOL, BEOL 모듈로 구성이 됩니다 FEOL은 Contact 이전까지고, MOL은 Contact, BEOL은 금속 배선 공정부분입니다
댓글 1
kklica작성자2023.03.20
추가로 궁금한 점이 있어 질문드립니다 ..!! 그럼 ILD depo와 contact hole metal cmp공정, 그리고 alloy는 어떤 부분에 해당될까요..??
- 동동네시즌삼성전자코차장 ∙ 채택률 93%
말씀하신 파트는 플래쉬/디램 그리고 그 안에서도 제품에 따라 구분이 조금씩 달라집니다. 그냥 반도체 공정의 처음~끝을 비슷한 단계 및 공정끼리 묶어둔거라고 보시면 됩니다.
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