Q. CD-SEM과 SEM의 차이점을 알고싶습니다.

답변 2

• 전

  전계장현대중공업

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  채택된 답변

  안녕하세요. 아래 조사한 내용 참조하세요. 1. CD-SEM은 Critical Dimension Scanning Electron Microscope의 약어로, 전자 광학 현미경과 적외선 광학 현미경을 결합하여 반도체 패턴의 크기, 모양 및 위치 등을 정밀하게 측정할 수 있는 장비입니다. SEM은 Scanning Electron Microscope의 약어로, 샘플 표면에 전자를 쏘아 올리고, 이를 수집하여 이미지를 생성하는 장비입니다. 따라서 CD-SEM과 SEM은 전자 광학 현미경이라는 공통점이 있지만, CD-SEM은 반도체 패턴을 측정하기 위한 특수한 목적으로 설계되었다는 점에서 차이가 있습니다. 2. SEM은 샘플 표면의 형상을 3차원적으로 보는 것이 가능하지만, CD-SEM은 반도체 패턴의 크기, 모양 및 위치 등을 정밀하게 측정하기 위해 전자 광학 현미경과 적외선 광학 현미경을 결합하여 사용하는 것이 특징입니다. 따라서 CD-SEM은 스펙트럼 강도를 보면서 패턴의 형성 모습을 예측하는 것보다는 정밀한 측정을 위해 사용됩니다. 3. Review-SEM은 반도체 생산 공정에서 생산된 반도체 칩의 불량 원인을 분석하는 데 사용되는 SEM의 일종입니다. 이에 비해 CD-SEM은 반도체 패턴의 크기, 모양 및 위치 등을 정밀하게 측정하는 데 사용됩니다. 즉, Review-SEM은 불량 원인 분석에, CD-SEM은 생산성 향상과 품질 개선에 사용됩니다.

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• F

  Fjejzjus써모피셔사이언티픽코리아

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  같습니다만 목적이 다릅니다. 그에맞게 설계

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• AD

  

  반도체

  설계팀

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