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Q. Dry etch 공정 기술 엔지니어 엣지링에 관련 업무 수행
Dry etch 공정 기술 엔지니어도 엣지링에 관한 업무를 수행하는지 궁금합니다! 엣지링의 높이 조절과 같은 업무를 수행하나요?
2024.03.15
답변 3
두부르농업회사법인닥더애그주식회사코전무 ∙ 채택률 59%
채택된 답변엣지링과 관련된 업무를 수행합니다. 엣지링은 웨이퍼의 가장 자리 부분을 보호하고 공정 중에 에칭된 물질이 웨이퍼 가장자리로 확산되는 것을 방지합니다. 대형 반도체 제조 공정 시설에서는 엣지링을 관리하고 유지하는 전문가들이 별도로 존재합니다.
- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%채택된 답변
안녕하세요 멘티님 네 엣지 링을 조절함으로써 플라즈마의 양, 가스 같은 요소가 변경되고, 이는 전부 에치 레이트 등의 파라미터에 영향을 미치기 때문입니다. 멘티님의 취업에 좋은 결과 있기를 바라겠습니다.
어니언슾SK하이닉스코상무 ∙ 채택률 73%채택된 답변edge ring도 공정 진행에 따라 높이를 조절하여 공정 산포를 관리하고 있습니다. edge ring을 조절하면 진행 장비 내 플라즈마 유동이 바뀌는 원리를 이용해 공정에서 다양하게 활용하고 있습니다.
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