Q. sic hmds방법

답변 1

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  프로답변러YTN

  코부사장 ∙ 채택률 85%

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  멘티님 SiC(실리콘카바이드) 표면은 일반적으로 소수성 특성을 갖고 있어 물을 거의 흡수하지 않고 표면에 물방울이 맺히는 경향이 있습니다. 이는 Si 웨이퍼와 달리 별도의 HMDS 처리가 없어도 표면이 이미 소수성에 가까운 상태임을 의미합니다. 따라서 Si에서처럼 친수성 표면을 소수성으로 바꾸기 위해 HMDS 처리를 반드시 할 필요는 없으며, SiC는 자연적으로 낮은 표면 에너지와 치밀한 구조 덕분에 소수성을 띠게 됩니다. 다만 극한 환경이나 고온·화학적 반응 후에는 표면 특성이 다소 달라질 수 있으므로 추가 처리가 필요한 특수 공정도 존재하지만, 기본적으로 SiC는 소수성입니다. Si와 달리 HMDS 처리는 표준 공정이 아니고, 적용 여부는 목적에 따라 달라집니다. 파이팅입니다!

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  댓글 1

  q

  qpr827

  작성자

  2025.08.06

  음 혹시 bare일때 말고 평범한 상태에서는 어떻게 진행하는지. 실무 관련해서 알 수 있을까요