1. 증착 공정에서 발생하는 주요 이슈들로는 다음과 같은 것들이 있을 수 있습니다.
- 증착 속도의 불균일성: 증착 속도가 부분적으로 빠르거나 느리게 발생하는 경우, 박막의 두께나 특성이 불균일해지는 문제가 발생할 수 있습니다.
- 증착 속도의 변동성: 증착 속도가 계속해서 변하는 경우, 박막의 두께나 특성이 예측할 수 없이 변하는 문제가 발생할 수 있습니다.
- 박막 결함: 증착 중에 발생하는 기포나 먼지 등이 박막에 결함을 일으킬 수 있습니다.
- 박막 결합력의 약화: 증착 중에 발생하는 열 또는 기계적인 스트레스로 인해 박막이 결합력이 약해지는 경우가 있습니다.
- 재료의 부족: 증착 공정에 필요한 재료가 부족하거나 불량일 경우 박막의 품질이 저하될 수 있습니다.

2. 설비팀과의 협업은 설비 관리나 고장 발생 시 신속한 대처를 위해 중요합니다. 설비팀은 설비의 운영 상태를 모니터링하고 점검하며, 필요한 부품 교체나 보수를 담당합니다. 따라서 설비팀과 긴밀한 협업이 필요한 이유는 다음과 같습니다.
- 설비의 이상 징후 파악: 설비팀은 설비의 이상 징후를 빠르게 파악하여 고장을 예방하거나 조치를 취할 수 있도록 돕습니다.
- 고장 발생 시 신속한 대응: 설비팀은 고장이 발생했을 때 신속하게 대응하여 생산 라인의 중단을 최소화합니다.
- 설비의 정기적인 유지보수: 설비팀은 설비의 정기적인 유지보수를 통해 설비의 수명을 연장하고 고장을 예방합니다.
- 설비의 성능 개선: 설비팀은 설비의 성능을 개선하는 방법을 모색하고 적용하여 생산성을 향상시킵니다.

3. 설비의 각 부품들은 다음과 같은 역할과 특성을 가지고 있습니다.
- 펌프: 증착 공정에서 사용되는 펌프는 가스를 집적하고 배출하는 역할을 합니다. 펌프의 성능에 따라 증착 속도가 달라지며, 유지보수가 중요합니다.
- 게이지: 증착 공정에서 사용되는 게이지는 증착기 내부의 압력을 측정하여 관리하는 역할을 합니다. 정확한 압력 측정이 중요하며, 유지보수가 필요합니다.
- 로드암: 증착 공정에서 사용되는 로드암은 원자나 분자를 운반하는 역할을 합니다. 로드암의 위치와 속도에 따라 증착 속도가 달라지며, 정확한 제어가 필요합니다.
- 플라즈마: 증착 공정에서 사용되는 플라즈마는 기판 표면을 깨끗하게 만들고 증착할 재료를 활성화하는 역할을 합니다. 플라즈마의 세기와 유지보수 상태에 따라 증착 박막의 품질이 달라질 수 있습니다.
- 기판 스테이션: 증착 공정에서 사용되는 기판 스테이션은 기판을 고정하고 회전시키는 역할을 합니다. 기판의 위치와 회전 속도에 따라 증착 박막의 두께와 특성이 달라질 수 있으며, 정확한 제어가 필요합니다.

1. 증착은 균일도가 중요한데 uniformity가 뒤틀리는 경우가 주요이슈이고 이러한 원인은 압력이달라지거나 온도가달라지거나 등 여러이슈가 관여합니다
2. 공정레시피가 설비안에서 짜야하는거고 그 설비레시피대로 설비가구동되는데 압력이 안나오거나 leak가 있거나 이런게생기면 공정이 중단돼서 같이협업하여 해결합니다

3. 네 여러 장비사양과 파라미터학습하면 도움됩니다.