대학생활 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 습식식각 VS 건식식각

OOwlsin

Uniformity 측면에서 습식식각(화학적 방식) 건식식각의 라디칼(화학적 방식) 건식식각의 이온(물리적 방식) 건식식각의 RIE (물리화학적 방식) 이 네가지 중 어떤 것이 Uniformity가 좋을까요??


2024.05.07

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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