스펙 · 삼성전자 / 공정기술

Q. ALD 공정에 관한 질문입니다!!

ALD로 al2o3를 5nm 타겟으로 300도와 50 사이클로 진행했습니다. 이후 엘립소미터로 측정한 결과, 6.5nm가 증착이 됐는데 uniformity는 0.3%대로 좋았습니다. 제가 생각해본 거는 사이클을 조절하여 타겟에 근접하게 조절하는 것이고 두번째는 온도를 조절하는 것입니다. 온도를 조절할 때는 밀도와 균일도 등 고려할 요소가 많아서 그것들을 고려한 최적의 온도 범위를 선정하려고 합니다. 이를 공정 조건 수정안으로 제시하여 자기소개서 경험을 채우려고 합니다..! 제가 생각하는 것이 타당한 지 좀 알고 싶습니다ㅠㅜ 프리커서나, 퍼지, 반응물의 시간을 그 당시에 체크를 하지 못해 지금 조절할 수 있는 것은 사이클과 온도밖에 없네요.. 엔지니어의 사고답게(?) 타당한 지 피드백 좀 듣고 싶습니다. 감사합니다.