Q. critical dimension에 대해 자세히 알려주세요

답변 5

• 꽁

  꽁기공기삼성전자

  코주임 ∙ 채택률 100% ∙

  회사

  직무

  일치

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  채택된 답변

  CD 는 큰 의미에서 선폭을 의미하고, 보통의 경우 BAR CD 를 말하게 됩니다. 이때 BAR CD는 ㅛ 이런 모양으로 깎는다고 쳤을 때, 솟은 부분의 맨 위쪽 폭을 재는 것이고, SPACER CD 그 두 BAR(막대기) 의 사이 간격을 재는 것입니다. ADI CD (After Develop Inspection CD): PHOTO 공정 후의 CD ACI CD (After Clean Inspection CD): ETCH, CLN 등 공정 후의 최종 CD 추가로 말씀드리면 ETCH 가 잘 됐는지 파악하는 ITEM 중 이 두 CD의 차이를 보는 SKEW 항목들이 있습니다.

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• 에

  에치는힘들어삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 83% ∙

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  일치

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  채택된 답변

  안녕하세요. CD는 말 그대로 간격이라고 보시면 될 것 같습니다 그림이 캡처 붙여넣기가 안되는데... ■□■□ ■□■□ ■□■□ 위 그림처럼 메탈 라인이 지나간다고 해 봅시다. 까만색이 METAL이 차있는 공간이고, 흰색은 METAL과 METAL 사이의 간격이라고 해 볼게요. (복붙이 안되서 그림의 한계가 있는 점은 양해 부탁 드립니다) 이때 Bar CD는 메탈이 차 들어간 너비, (두께라고 이해하시면 쉬울 것 같아요) Spacer CD는 메탈과 메탈 사이의 간격이라고 이해하시면 되겠습니다. ADI CD는 PHOTO 직후에 생성된 CD, ACI CD는 ETCH 직후에 생긴 패턴의 CD 입니다. 이렇게 나눠서 관리를 하는 이유는 BAR CD, SPACER CD 모두 제품 동작의 특성에 영향을 주기 때문입니다.

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• 신

  신서유기삼성전자

  코과장 ∙ 채택률 75% ∙

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  일치

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  채택된 답변

  BAR CD : Pattern의 CD Space CD : Pattern과 Pattern 사이의 CD ADI CD : Photo 노광 후의 Pattern CD ACI CD : 실제 Pattern ETCH 후의 CD CD가 작을수록 하나의 Wafer에 들어가는 Die 수들이 더 많아지게 되어 제조비용을 낮춘다는 말에서 CD는 반도체에서 Pattern의 CD를 의미하는 것 같습니다.

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• 개

  개미는오늘도뚠뚠삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 73% ∙

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  일치

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  일반적인 critical dimension의 의미인 패턴의 길이릐 지칭한다고 생각되네요

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• r

  radish삼성전자

  코부사장 ∙ 채택률 77% ∙

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  일치

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  안녕하세요 CD는 말그대로 치수입니다. 보통 반도체 공정을 진행하다보면 원하는 곳에 Recess 또는 residue가 없이 공정을 진행해야 하는데 하두 미세화가 되다보니 산포 마진도 적고 CD가 조금만 넓어지거나 좁아져도 불량으로 발현되고 있습니다. 결국 반도체 공정에서의 원하는 공정의 치수 정도라고 생각하시면 되겠습니다.

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• AD

  

  반도체

  설계팀

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