직무 · 삼성전자 / 공정기술
Q. dc sputtering 증착
dc sputter PVD 장비 챔버에 웨이퍼 한 장 넣고 500nm정도 두께의 텅스텐 박막 증착시 소요되는 시간은 어느정도 되나요? 장비랑 공정 조건에 따라 다르겠지만 보통 평균적인 시간이 궁금합니다! 공정 압력 9.0mTorr, 가스 유량 22sccm, 전류 0.13A 정도 480nm 두께 증착할 때 2시간 정도 걸린다고 본 것 같은데(확실하지 않습니다) 보통 다 2시간 정도 걸릴까요?
2024.09.07
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