취업 · 삼성전자 / 공정기술
Q. DRIE 식각에서도 loading effect가 나타나나요?
안녕하세요, 현재 AVP사업팀 공정기술 직무를 준비중인 취준생입니다. DRIE 공정에 대해 공부를 하던 중 기존에 RIE 식각 방식에서는 마이크로 로딩 효과가 나타나는 것으로 알고 있는데 DRIE 공정 같은 경우에도 똑같이 마이크로 로딩 효과가 나타나나요? passivation + etch 과정이 반복적으로 진행되기 때문에 마이크로 로딩효과가 나타나는건지 싶어서 여쭤보았습니다.
2024.01.31
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