회사/산업 · 삼성전자 / 공정기술
Q. DUV로 멀티패터닝 쿼드패터닝 하는 것을 EUV로도 가능할까요?
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2020.05.01
답변 2
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사
채택된 답변EUV의 목적이 더 작은 패턴을 더 좁은 공간안에 한번만 노광을 하기 위해서 도입된 설비입니다. 앞으로 더욱 더 작은 패턴과 밀집도가 높은 패턴을 만들기 위해 EUV를 이용해서 멀티나 쿼드 패터닝도 충분히 가능합니다.
- 차차로로로루삼성전자코과장 ∙ 채택률 72% ∙일치회사채택된 답변
PR의 기술력에 따라서 가능할 것으로 생각됩니다. 근데 중요한 중점사항은 EUV 도입을 통해 멀티패터닝을 줄일 수 있으므로 공정을 단순화하여 생산시간을 줄이고 PR 등의 용액 사용량을 줄일 수 있다는 장점이죠.
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