직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. PR에 따른 descum 공정 진행 후 다른 결과

미니미니뿅

안녕하세요 DNR L300-40 와 AZ5214E로 photo공정을 진행 한 후 descum을 진행하고 depo후 lift off를 진행했는데 DNR L300-40을 사용한 경우에는 residue가 많이 남았습니다. 이 PR이 더 점도가 높아 끈적하고 두께가 더 두껍긴한데 이런 문제 때문에 그럴까요 ?


2024.11.04

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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