Q. PR에 따른 descum 공정 진행 후 다른 결과

답변 5

• 메

  메에모리삼성전자

  코상무 ∙ 채택률 49% ∙

  회사

  일치

  ---

  오버 코팅이 문제일 수도 있을 것 같아요. 실험의 변수를 하나씩 제거하면서 논리적으로 접근하시면 답이 나올 것 같습니다.

  ---
• r

  reinheart우양포토닉스

  코부장 ∙ 채택률 52%

  ---

  레지듀가 더 많이 남은 이유는 점도가 높아서 입니다 나머지 변수가 동일하다면 그렇습니다 각 물질의 특성 변수를 고려하시면 좋아보입니다.

  ---
• 칸

  칸칸이삼성전자

  코차장 ∙ 채택률 67% ∙

  회사

  일치

  ---

  안녕하세요 말씀하신 것처럼 DNR L300-40의 높은 점도와 두꺼운 레이어때문입니다. 아시겠지만, 보통 PR의 점도가 높고 층이 두꺼울수록 균일한 노광이 어렵고, 결과적으로 잔여물이 남죠. 이에 따라 descum에서도 완벽하게 제거되지 않을 가능성이 커요

  ---
• 3

  3분커리er삼성전자

  코이사 ∙ 채택률 50% ∙

  회사

  직무

  일치

  ---

  보통 PR 점도와 두께와 관련이 있긴 합니다. 확실히 원인을 규명해야 한다면 점도가 다른 PR, THK이 PR로 SPLIT TEST를 해보심을 추천 드립니다.

  ---
• 탁

  탁기사삼성전자

  코사장 ∙ 채택률 78% ∙

  회사

  일치

  ---

  thickness가 더 두껍고, PR이 더 끈적하면 spin coating시 더 달라붙게되고, peb dev이후에 끈끈해서 residue가 현업에서도 잔류가 남기도합니다. 그래서 Strip을 더욱 강화해서 하기도하고, 모듈별로 strip 세정 레피시도 달라지게됩니다.

  ---