대학생활 · 삼성전자 / 공정기술

Q. Uniformity와 Conformality

삼성화공기

반도체 질문 몇가지가 있는데 1. 유사한 용어라서 매우 헷갈리는데, 정확히 구분해 주실 분 있으실까요? Uniformity가 좋은데 conformality가 안좋거나 그 반대인 사례도 있나요? 2. Showerhead의 퍼지타임이 긴 이유가 뭔가요? 3. Island Growth에서 공간있는 표면에 붙지 않고 표면에 흡착된 원자에 붙는거로 알고 있는데 기판말고 원자가 더 불안정한가요?


2023.01.09

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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