대학생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. FinFET 로직노드 기준?

나는야나는야

안녕하세요 현재 학부연구생으로 TCAD를 배우고 있는 학부생입니다. 다름이 아니라 로직노드를 기준으로 몇나노를 정할 때, 일반적인 Planar MOSFET은 Gate Length를 기준으로 하는 반면, FinFET에서는 Fin Width로 하는 것 같습니다. 질문 사항은 다음과 같습니다. 1. 왜 FinFET은 Gate Length가 아니라 Fin Width를 기준으로 하는지? 2. GAA 구조에서는 그럼 Nanosheet의 Width로 하는지 아니면 Gate Length로 잡는지?


2024.12.10

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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