직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 공정기술 직무에서 최적의 공정 조건을 찾는 과정
안녕하세요. 반도체 공정기술 직무 취업을 희망하고 있는 취준생입니다.
공정기술 직무 공부 중 궁금증이 생겨 질문을 남깁니다.
현업에서는 공정의 최적 조건을 잡기 위해서 어떤 과정을 거치나요?
만약 PECVD 공정의 압력, RF Power 변수만으로 Uniformity가 가장 좋고, D/R이 큰 레시피를 작성한다고 하면,
압력 Split -> Uniformity가 가장 좋을 때 압력 조건 잡음 -> 그 압력 조건에서 다시 RF Power 스플릿 -> D/R 이 가장 클 때의 RF Power 조건 잡음
이런 과정을 거치는 것이 맞나요?
반도체 공정기술 직무에서 최적의 공정 조건을 찾는 과정은 다음과 같이 진행됩니다.
1. 실험 계획 세우기
먼저 실험 계획을 세워야 합니다. 이 때, 공정에 영향을 미치는 변수들을 선정하고, 각 변수들의 범위를 설정합니다. 이렇게 하면 이후 공정 최적화 과정에서 변수들을 조정하면서 최적의 조건을 찾을 수 있습니다.
2. 실험 수행
세운 실험 계획대로 공정을 수행합니다. 이 때, 변수들을 조정하여 여러 가지 상황을 시뮬레이션해볼 수 있습니다.
3. 데이터 분석
실험 결과를 바탕으로 데이터를 분석합니다. 여러 가지 변수들의 조합에 따라서 어떤 결과가 나오는지 확인하고, 최적의 조건을 찾습니다.
4. 최적화
분석 결과를 바탕으로 최적의 조건을 찾습니다. 이 때, 여러 가지 최적화 알고리즘을 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 유전 알고리즘, 탐색 알고리즘 등을 사용하여 최적의 조건을 찾을 수 있습니다.
5. 검증
찾은 최적의 조건을 검증합니다. 이 때, 반복적인 실험과 분석을 통해 조건을 더욱 정교하게 조정할 수 있습니다.
6. 적용
검증이 완료되면 최적의 조건을 실제 공정에 적용합니다. 이를 통해 공정의 효율성을 높일 수 있습니다.
추가적으로, 공정 최적화를 위해 다른 방법으로는 DOE(Design of Experiments) 방법을 사용하는 것이 있습니다. DOE 방법은 다양한 변수들을 조합하여 실험을 수행하고, 그 결과를 통해 최적의 조건을 찾아내는 통계적 방법입니다.
또한, 인공지능 기술을 활용하여 공정 최적화를 하는 경우도 있습니다. 인공지능 알고리즘을 통해 공정 데이터를 분석하고, 최적의 조건을 찾아내는 방식입니다.
따라서, 반도체 공정기술 직무에서 최적의 공정 조건을 찾는 과정은 다양한 방법을 활용하여 진행될 수 있습니다. 적절한 방법을 선택하여 공정을 최적화하는 것이 중요합니다.
2024.03.11