직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 공정기술 직무에서 최적의 공정 조건을 찾는 과정

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안녕하세요. 반도체 공정기술 직무 취업을 희망하고 있는 취준생입니다. 공정기술 직무 공부 중 궁금증이 생겨 질문을 남깁니다. 현업에서는 공정의 최적 조건을 잡기 위해서 어떤 과정을 거치나요? 만약 PECVD 공정의 압력, RF Power 변수만으로 Uniformity가 가장 좋고, D/R이 큰 레시피를 작성한다고 하면, 압력 Split -> Uniformity가 가장 좋을 때 압력 조건 잡음 -> 그 압력 조건에서 다시 RF Power 스플릿 -> D/R 이 가장 클 때의 RF Power 조건 잡음 이런 과정을 거치는 것이 맞나요?


2024.03.12

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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