직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 공정 엔지니어 '산포관리' 질문

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공정 엔지니어 업무에서 '데이터 결과값 편차들을 줄여 일정한 아웃풋을 유지하는 관리'를 산포관리라고 하던데 여기서 말하는 데이터는 공정에서 발생하는 데이터 일텐데.. 정확히 무슨 데이터를 말하는 건가요?


2020.03.30

답변 1

  • l
    lIIIIl삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 79%
    회사
    일치

    채택된 답변

    CVD, Metal 같은 막질을 덮는 공정은 막질의 두께 데이터 포토나 에치처럼 패턴을 형성하는 공정은 CD 데이터를 의미합니다. CD는 critical dimension을 의미합니다 또는 농도가 될 수도 있습니다 각 공정이 뭘 하는 공정인지 잘 숙지하세요

    2020.03.30


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