직무 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 산업에서 공정마진과 공정수율의 차이
반도체 산업에서 공정마진과 공정수율의 차이를 알고 싶습니다. 또한 둘의 관계도 알려주시면 감사하겠습니다.
2020.08.24
답변 2
- llIIIIl삼성전자코사장 ∙ 채택률 79% ∙일치회사
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모든 반도체 공정 스텝에는 공정 엔지니어들이 반드시 맞춰야 하는 Spec이 있습니다. 그리고 공정 Variation을 감안한 Upper spec 및 Lower spec을 그어서 관리하는데 이 Upper ~ Lower 차이를 공정 마진이라고 합니다. 예로 100인 스펙이 있고 +/- 30을 허용된 variation이라고 한다면 60을 공정 마진이라고 합니다. 그리고 공정수율이라는 용어는 사용하지 않습니다.
- 메메칸더V
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공정 윈도우라고 하는게 마진인데요. 이게 넓으면 넓을수록 당연히 수율적인 측면에서는 유리합니다. 스펙이 넓은만큼 불량에 대한 리스크가 적기 때문입니다. 엄연히 다른 의미라 보시면 될것 같구요. 마진이 크면 수율도 유리하다 이렇게 생각하시면 될듯합니다.
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