직무 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 산업에서 공정마진과 공정수율의 차이

모디스티

반도체 산업에서 공정마진과 공정수율의 차이를 알고 싶습니다. 또한 둘의 관계도 알려주시면 감사하겠습니다.


2020.08.24

답변 2

  • l
    lIIIIl삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 79%
    회사
    일치

    채택된 답변

    모든 반도체 공정 스텝에는 공정 엔지니어들이 반드시 맞춰야 하는 Spec이 있습니다. 그리고 공정 Variation을 감안한 Upper spec 및 Lower spec을 그어서 관리하는데 이 Upper ~ Lower 차이를 공정 마진이라고 합니다. 예로 100인 스펙이 있고 +/- 30을 허용된 variation이라고 한다면 60을 공정 마진이라고 합니다. 그리고 공정수율이라는 용어는 사용하지 않습니다.

    2020.08.24


  • 메칸더V

    채택된 답변

    공정 윈도우라고 하는게 마진인데요. 이게 넓으면 넓을수록 당연히 수율적인 측면에서는 유리합니다. 스펙이 넓은만큼 불량에 대한 리스크가 적기 때문입니다. 엄연히 다른 의미라 보시면 될것 같구요. 마진이 크면 수율도 유리하다 이렇게 생각하시면 될듯합니다.

    2020.08.24


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