취업 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 반도체 포토마스크,레티클 질문있습니다.

애기벌

자료를 찾아보다 몇가지 질문이 생겨 여쭤봅니다. 1. 포토마스크와 레티클의 차이점이 무엇인가요? 2. 최근 3nm 공정으로 넘어갔다는 글을 보았는데 이때 포토마스크(레티클)의 선폭은 어느정도를 가지나요?


2023.08.12

답변 4

  • 졸린왈루(주)KEC
    코사장 ∙ 채택률 98%

    채택된 답변

    안녕하세요 멘티님 현재 사용하는 projection 타입 설비의 마스크를 레티클이라고 부르나, 현재는 동일하게 부릅니다. 실제 선폭은 xx 정도로 2자리입니다. 제 답변이 도움이 되었으면 좋겠네요. 항상 목표한 바 이루어지길 바라겠습니다.

    2023.08.12


  • N
    NICK.KIM삼성전자
    코이사 ∙ 채택률 80%
    회사
    직무
    일치

    채택된 답변

    안녕하세요 답변드립니다. 1. 일반적으로 마스크 = RETICLE 입니다. 다만 뭐 현업에서 PR 이나 SOH 같은 막질을 MASK 라고 부르기도 하기때문에, 맥락에 따라서 이해하시면 됩니다. 2. 실제 선폭은 1x~ 2x nm수준입니다. 3nm 는 일반적인 TR 기준으로 3nm 수준의 집적도를 만들었다라고 생각하시면 됩니다. 실제 PHYSICAL 한 CD 는 훨씬 큽니다.

    2023.08.12


  • ㅅ6코미코
    코상무 ∙ 채택률 87%

    채택된 답변

    안녕하세요. 멘티님 1. 동일한 말이라 생각하시면 됩니다. 2. 노광공정중 빛을 축소하기 때문에 2자리 수라고 생각하시면 됩니다. 제 답변이 도움이 되었으면 좋겠네요. 꼭 원하시는 곳에 취업하시길 바랄게요! 답변이 마음에 드신다면 채택 부탁드립니다. :)

    2023.08.12


  • 탁기사삼성전자
    코사장 ∙ 채택률 78%
    회사
    직무
    일치

    채택된 답변

    1. 포토마스크와 레티클은 같은 말이라고 보시면 됩니다. 2. rssolution이 있으므로 한자리단위는 아니고 xx대 단위라고 보시면 됩니다.

    2023.08.12


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