취업 · 삼성전자 / 공정설계
Q. 반도체 포토마스크,레티클 질문있습니다.
자료를 찾아보다 몇가지 질문이 생겨 여쭤봅니다. 1. 포토마스크와 레티클의 차이점이 무엇인가요? 2. 최근 3nm 공정으로 넘어갔다는 글을 보았는데 이때 포토마스크(레티클)의 선폭은 어느정도를 가지나요?
2023.08.12
답변 4
- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%
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안녕하세요 멘티님 현재 사용하는 projection 타입 설비의 마스크를 레티클이라고 부르나, 현재는 동일하게 부릅니다. 실제 선폭은 xx 정도로 2자리입니다. 제 답변이 도움이 되었으면 좋겠네요. 항상 목표한 바 이루어지길 바라겠습니다.
- NNICK.KIM삼성전자코이사 ∙ 채택률 80% ∙일치회사직무
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안녕하세요 답변드립니다. 1. 일반적으로 마스크 = RETICLE 입니다. 다만 뭐 현업에서 PR 이나 SOH 같은 막질을 MASK 라고 부르기도 하기때문에, 맥락에 따라서 이해하시면 됩니다. 2. 실제 선폭은 1x~ 2x nm수준입니다. 3nm 는 일반적인 TR 기준으로 3nm 수준의 집적도를 만들었다라고 생각하시면 됩니다. 실제 PHYSICAL 한 CD 는 훨씬 큽니다.
- ㅅㅅ6코미코코상무 ∙ 채택률 87%
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안녕하세요. 멘티님 1. 동일한 말이라 생각하시면 됩니다. 2. 노광공정중 빛을 축소하기 때문에 2자리 수라고 생각하시면 됩니다. 제 답변이 도움이 되었으면 좋겠네요. 꼭 원하시는 곳에 취업하시길 바랄게요! 답변이 마음에 드신다면 채택 부탁드립니다. :)
- 탁탁기사삼성전자코사장 ∙ 채택률 78% ∙일치회사직무
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1. 포토마스크와 레티클은 같은 말이라고 보시면 됩니다. 2. rssolution이 있으므로 한자리단위는 아니고 xx대 단위라고 보시면 됩니다.
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